半绝缘半导体电阻率测试仪

产品介绍

产品名称：全自动晶圆成像电阻率测试仪

一、产品概述

仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

二、仪器构成：

1、 高精度电阻率测试仪

3、 测试探头

高精度电阻率测量仪：

1.1电阻率：0.00001～20000Ω.cm (可扩展)

1.3电阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2电流误差：±0.5%

三坐标测试移动品台：

2、X轴Y轴*小位移量：0.125MM

四探针测试电极：

上位机软件测量成像系统

2、 测量点数：可以设定

4、 2D成像：测试完成后，可以立体成像

然后均匀放置适量胶料（此胶料应与伞裙胶料相同或相近），按混炼胶硫化工艺成型、制样，制备的试样表面应无裂痕，未修整表面中部不应有制样用胶料，必要时可在待试样亲和界面涂偶联剂。将未修整面按GB/T6553要求打磨处理，安装时，应将长度方向中裁取胶片较靠近底边的一端联接在高压电极，且此电极应在未修整面上，上下电极间至少70%的面积应为待试样。试验方法和结果判定依据GB/T6553,试验采用恒压法A,耐受电压4.5kV,蝕损深度不应大于2.5mm。

试验结果仅当蚀损区域在裁取的伞裙胶料内有效（蚀损深度大于2.5mm的部分可以是制样用胶料），注：如果绝缘子的伞套栽取不到以上规路的胶片时，应采用正常生产使用的胶料，6由“一种绝缘子型式在机械上是由芯棒直径和金属附件的连接方法来确定。”增加内容后改为“一种绝缘子型式在机械上是由芯棒直径和材料、伞套的材料和工艺、金属附件的连接方法来确定"芯棒的材质是影响绝缘子的强度的。陡波前冲击耐受电压试验（EQ不同的生产工艺，生产时不同批的材料和条件经常变化，试验表明绝缘子的内绝缘会带来较大缺陷。表F.1给出了本标准条款与1EC1992及其1995年修改件1条款的对照一览表。a）机架（包括底座和安装水平基准面）；

半绝缘半导体电阻率测试仪

半绝缘半导体电阻率测试仪