半绝缘半导体电阻率测定仪

产品介绍

产品名称：全自动晶圆成像电阻率测试仪

一、产品概述

仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

二、仪器构成：

1、 高精度电阻率测试仪

3、 测试探头

高精度电阻率测量仪：

1.1电阻率：0.00001～20000Ω.cm (可扩展)

1.3电阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2电流误差：±0.5%

三坐标测试移动品台：

2、X轴Y轴*小位移量：0.125MM

四探针测试电极：

上位机软件测量成像系统

2、 测量点数：可以设定

4、 2D成像：测试完成后，可以立体成像

b）冲击摆锤（由摆杆和锤体组成）；c）试样夹具（由固定钳口和活动钳口及底板和旋转手轮等组成）；d）指示装置（标度盘式或数显式）；e）摆锤释放机构（电动或手动）。试验机的特性及基本参数应符合表1的规定。a)室温10t~35X：范围内；b)相对湿度＜80%；c)牢固地安装在坚固的基础上，该基础的质量应至少为所用大摆锤质量的40倍，其水平度为0.2/1000；d)在周围无振动、无腐蚀性介质的环境中。试验机机架应具有足够的刚性，能安装摆轴、摆锤支承机构、试样夹具和指示装置；底座应坚固并有供试验机安装调整的水平基准面或水平指示装置。钳口、试样和摆锤冲击刀刃的相互位置关系应符合图2的规定。虎钳式试样夹具由固定钳口和活动钳口组成。

5.4.1固定钳口与活动钳口上平面的高度应相等，允许偏差为士0.08mm。为0.2mm±0.1mm。5.4.2钳口两夹持面的平行度在0.025mm以内。5.4.3钳口两夹持面与夹具上平面应垂直，5.4.4钳口的洛氏硬度不应低于58HRC,其表面粗糙度参数R.的大值为0.8^m。冲击摆锤由摆杆和带冲击刀的锤体组成。摆锤通过摆杆的一端与摆轴连接，摆杆应具有足够的刚性。5.5.2摆锤冲击刀刃的角度为75',摆锤冲击刀刃的圆弧面曲率半径Ri为0.8mm±0.2mm

 半绝缘半导体电阻率测定仪

半绝缘半导体电阻率测定仪