晶圆非接触法电阻率测试仪

产品介绍

产品名称：全自动晶圆成像电阻率测试仪

一、产品概述

仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

二、仪器构成：

1、 高精度电阻率测试仪

3、 测试探头

高精度电阻率测量仪：

1.1电阻率：0.00001～20000Ω.cm (可扩展)

1.3电阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2电流误差：±0.5%

三坐标测试移动品台：

2、X轴Y轴*小位移量：0.125MM

四探针测试电极：

上位机软件测量成像系统

2、 测量点数：可以设定

4、 2D成像：测试完成后，可以立体成像

以便自然排气。用涡轮喷雾器或具有恒定喷射能力的室内喷雾装置用作为水的喷雾器。雾应充满试验室且不应直接喷向试品。将由NaCl和去离子水配制好的盐水装入喷雾装置中。为了得到工频试验电压，应使用的试验变压器当高压侧带有阻性电流250mA(r.m.s.)的负荷时,试验回路大电压降不超过5%。保护水平应调整到lA(r.m.s.)°在开始试验前。

试品应用去离子水清洗。试验时一只试品应水平地安装(大约在雾室高度的一半位置处)，第二只试品应垂直安装，水流的速率是以升每小时和每立方米试验室体积来定义的。不允许用循环水。注：为便于检査，允许试验有几次中断.但每次中断不应超过15min,中断的时间不应计入试验时间内。对于严酷环境条件(强烈的阳光照射，频繁的温度变化并凝露，由JB/T5895所定义的重污秽或严重污秽)，可经用户和制造厂间协议采用附录C所述的试验方法。若每只被试试品没有出现超过3次过流中断，不产生起痕，蚀损没有腐蚀到玻璃纤维芯棒，芯棒不应能看见，伞裙没被击穿，则认为试验通过。目前，还不能提出允许蚀损开裂数目定量化考核的可靠准则。随着本试验经验的进一步积累。

将会得出与运行经验的相对应的判据。在流动的冷水下，用有金刚石层的圆锯片从正常生产的绝缘子上沿与芯棒轴线成90°的方向切割下10只试品，试品长度应为10mm±0.5mm。切面应用细砂布打光（砂粒大小为180目），两端的切面应是清洁和平行的

晶圆非接触法电阻率测试仪

晶圆非接触法电阻率测试仪