碳化硅晶圆电阻率测定仪

产品介绍

产品名称：全自动晶圆成像电阻率测试仪

一、产品概述

仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

二、仪器构成：

1、 高精度电阻率测试仪

3、 测试探头

高精度电阻率测量仪：

1.1电阻率：0.00001～20000Ω.cm (可扩展)

1.3电阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2电流误差：±0.5%

三坐标测试移动品台：

2、X轴Y轴*小位移量：0.125MM

四探针测试电极：

上位机软件测量成像系统

2、 测量点数：可以设定

4、 2D成像：测试完成后，可以立体成像

负荷施加在两联接端间，若在少于90s时间内达到*额定机械负荷SML,则此负荷（*的SML）应维持90s的剩余时间（此试验可以认为等效于在额定机械负荷SMLT的1min耐受试验）。为了从试验中获得更多的资料，除了一些特殊的原因（如试验机的大拉伸负荷）外，可以将负荷升高到绝缘子的破坏负荷。

并记录此值。——若在70%额定机械负荷1min耐受试验（a）期间和在*额定机械负荷1min耐受试验（b）期间均无破坏（芯棒断裂或完全拉脱、金属附件破裂）发生。——7.4a所述染色渗透方法后确认无裂纹。——对7,4a所述的两部分进行检査后，清楚表明裂纹没有达到芯棒。试验应按GB1001.1进行。试验按5.1.4.2进行。如果仅有一只绝缘子或金属件不能满足抽样试验，则应抽取原先提交试验数量两倍的新样品进行重复试验。重复试验应包括未通过的该项试验。如果有两只或更多只绝缘子或金属附件不能满足抽样试验中的任何一项，或如果在重复试验中有任何一项试验不通过。则认为该批绝缘子不能满足本标准要求，并由制造厂收回。

若能清楚地知道试验未通过的原因，则制造厂可以从该批中剔除所有有缺陷的绝缘子。然后将挑选后的批再提交试验。抽取等于*次抽取数量三倍的试品进行重复试验。如果在重复试验中有任何绝缘子不通过，则认为该批绝缘子不能满足本标准，由制造厂收回

碳化硅晶圆电阻率测定仪

碳化硅晶圆电阻率测定仪