根据欧姆定律，被测电阻Rx等于施加电压V除以通过的电流I。传统的高阻计的工作原理是测量电压V固定，通过测量流过取样电阻的电流I来得到电阻值。
电阻率测试仪，通常采用双电四探针法来测量材料的电阻率。其工作原理可以简述如下：
电流源：先，电阻率测试仪内部有一个电流源（如千斯特电源）。当测试开始时，电流源会施加一个电流（I）到电顶端。
探针：电阻率测试仪有四个探针，其中两个探针（称为“电流探针"）用于施加电流，另外两个探针（称为“电位探针"）则用于检测样品表面的电势差。四个探针之间距离相等，形成一个正方形。
接触样品：将四个探针与样品接触，通过夹持装置，将样品放在四探针之间的夹持位置。 注意样品必须充分接触到四个探针，以确保测定材料电阻率。
测量电势差：当电流通过电转移到样品中时，电位探针会测量出样品表面的电压（V1）。此时，第二个电会引导电流流回电源，同时电位探头会再次测量样品表面的电压（V2）。
计算电阻率：根据欧姆定律，可以通过电压（V）和电流（I）的比值（R = V / I）计算出材料的电阻率R。
通过多次测量，可以得到不同位置的电阻率值，从而了解样品电阻率的分布情况。由于双电四探针法在测量过程中可准确测量非均质性材料，同时可以消除探针电阻之间相互影响的问题，因此它是一种非常可靠和常用的材料电阻率测试方法。
